சீன EUV ஒளி மூல முன்மாதிரி ஷாங்காயில் அறிமுகம்; பெருமளவு உற்பத்திக்கு இன்னும் மூன்று முதல் ஐந்து ஆண்டுகள் ஆகும்

8 நிமிட வாசிப்பு
Chinese EUV Light Source Prototype Debuts in Shanghai, With Mass Production Still Three to Five Years Away

ஒளி மூல முன்மாதிரி பொதுமக்கள் பார்வைக்கு

ஷாங்காயைச் சேர்ந்த ஸ்டார்ட்அப் நிறுவனமான லாங்டாவ் சுயியான், 26வது சீன சர்வதேச தொழில் கண்காட்சியில் தீவிர புற ஊதா ஒளி மூலத்தின் முன்மாதிரியை காட்சிப்படுத்தியது. அதன் கூறுகளில் 90 சதவீதம் சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டவை என்றும், பெருமளவு உற்பத்திக்கு இன்னும் மூன்று முதல் ஐந்து ஆண்டுகள் ஆகும் என்றும் நிறுவனம் தெரிவித்தது. 2026 அக்டோபர் தேதியிட்ட செய்தி அறிக்கைகளில் விவரிக்கப்பட்ட இந்தக் காட்சி, சீனாவின் மேம்பட்ட சிப் தயாரிப்பு முயற்சியின் ஒரு குறிப்பிட்ட அம்சத்தைப் பொதுமக்களின் பார்வைக்குக் கொண்டுவந்தது: மிகச் சிறிய மின்சுற்று வடிவங்களை அச்சிடப் பயன்படும் ஒளியை உருவாக்கும் கருவி.

உள்ளடக்கம்
  1. ஒளி மூல முன்மாதிரி பொதுமக்கள் பார்வைக்கு
  2. ஷாங்காயில் என்ன காட்சிப்படுத்தப்பட்டது?
  3. வெளியிடப்பட்ட விவரக்குறிப்புகள்
  4. ஒளி எவ்வாறு உருவாக்கப்படுகிறது?
  5. அதிக திறனும் நீண்ட ஆயுளும் ஏன் முக்கியம்?
  6. 90 சதவீத உள்நாட்டுக் கூறுகள் என்பதன் பொருள் என்ன?
  7. சிப் தொழில் முதலீட்டாளர்களின் ஆதரவு பெற்ற ஸ்டார்ட்அப்
  8. ஏற்றுமதிக் கட்டுப்பாடுகள் உள்நாட்டு மேம்பாட்டுக்கான அழுத்தத்தைத் தொடர்கின்றன
  9. பிற துறைகளின் முன்னேற்றம் EUV-யின் இடத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது
  10. முக்கிய அம்சங்கள்

காட்சிப்படுத்தப்பட்டது EUV ஒளி மூலம்; இது ஒளிப்படிப்புப் பொறியின் முக்கியக் கூறாகும். முழுமையான பொறிக்கு துல்லிய ஒளியியல் அமைப்புகள், சிலிக்கான் செதில் வில்லையை நிலைநிறுத்தும் தளம், வெற்றிட அமைப்பு, மேலும் இக்கூறுகள் ஒன்றிணைந்து செயல்படுவதை உறுதிசெய்யும் கட்டுப்பாடுகள் ஆகியவையும் தேவை. லாங்டாவின் காலக்கெடு ஒளி மூலத்தின் மேம்பாட்டைச் சார்ந்தது. அதிக வெளியீட்டையும் நீண்ட நேரம் நம்பகமாகச் செயல்படுவதையும் உறுதிசெய்வதே அடுத்தகட்டத்தின் முக்கியப் பணிகள் என நிறுவனப் பணியாளர்கள் தெரிவித்தனர்.

சிப் வெளிப்பாட்டு சோதனைகளில் இந்த முன்மாதிரியைப் பயன்படுத்த முடியும் என்று நிறுவனப் பிரதிநிதிகள் தெரிவித்தனர். நிறுவனத்துக்குச் சொந்தமானதாகக் கூறப்படும் தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகளின்படி, குறைந்த திறன் கொண்ட FlintNano அமைப்பின் EUV வெளியீடு 15 வாட்டுக்கும் அதிகம்; அது தொடர்ந்து 100 மணி நேரத்துக்கும் மேலாகச் செயல்படும். காட்சிப்படுத்தப்பட்ட முன்மாதிரியின் சுயாதீனச் சோதனை முடிவுகளோ, விரிவான வெளிப்பாட்டுச் சோதனை முடிவுகளோ வெளியிடப்படவில்லை. எனவே நடைமுறைச் சிப் தயாரிப்புச் சோதனைகளில் அதன் செயல்திறன் இன்னும் உறுதியாகவில்லை.

இந்த மேம்பாடு முக்கியமானது; ஏனெனில் ஏற்றுமதிக் கட்டுப்பாடுகள் காரணமாக சீன சிப் தயாரிப்பாளர்களால் நெதர்லாந்தைச் சேர்ந்த ASML நிறுவனத்திடமிருந்து EUV ஒளிப்படிப்புப் பொறிகளை வாங்க முடியாது. உள்நாட்டில் உருவாக்கப்படும் ஒளி மூலம், காலப்போக்கில் மாற்று விநியோகச் சங்கிலியை ஆதரிக்கக்கூடும். இப்போதைக்கு, ஷாங்காய் கண்காட்சி, மிகவும் சவாலான கூறுகளில் ஒன்றை உருவாக்கும் இளம் நிறுவனத்தின் முயற்சியைக் காட்டுகிறது; அதன் சொந்த மதிப்பீட்டிலும்கூட இன்னும் பல ஆண்டுகள் பொறியியல் மேம்பாட்டுப் பணிகள் இடம்பெறுகின்றன.

விளம்பரம்

ஷாங்காயில் என்ன காட்சிப்படுத்தப்பட்டது?

கண்காட்சியின் புதுமைத் தொழில்நுட்ப அரங்கில் உள்ள ஷாங்காய் கண்காட்சிப் பகுதியில், லாங்டாவின் முன்மாதிரி சிறிய இடத்தில் வைக்கப்பட்டிருந்தது. அதன் கரடுமுரடான வெளித்தோற்றம் கவனத்தை ஈர்த்தது; அதேவேளையில், ஊடகங்களுக்கான முறையான நேர்காணல்களைப் பணியாளர்கள் மறுத்தனர். கண்காட்சியைப் பற்றிய பிற விவரிப்புகளில், நிறுவனப் பிரதிநிதிகள் தொழில்நுட்ப விளக்கங்களை வழங்கியதாகவும், உள்நாட்டுக் கூறுகளின் பங்கு மற்றும் எதிர்பார்க்கப்படும் உற்பத்திக் கால அட்டவணை குறித்த கூற்றுகளைத் தெரிவித்ததாகவும் பதிவாகியுள்ளது.

ஷாங்காய் தொழில்நுட்பப் புத்தாக்க மையத்தின் அழைப்பின் பேரில் பங்கேற்றதாக லாங்டாவ் தெரிவித்தது. சீனக் குழு ஒன்று EUV ஒளி உருவாக்கத்தில் பணியாற்றி வருகிறது என்பதைக் காட்டவும், காலம் எடுத்துக்கொள்ளும் மேம்பாட்டுச் செயல்முறைக்கு பொறுமை தேவை என்பதை வலியுறுத்தவும் இந்தக் காட்சி அமைந்ததாகப் பணியாளர்கள் கூறினர்.

ஒளிப்படிப்பு முறையில், சிலிக்கான் செதில் வில்லையின் மீது பூசப்பட்ட ஒளி உணர்திறன் பூச்சில் ஒரு வடிவம் ஒளியால் பதிக்கப்படுகிறது. பின்னர் நடைபெறும் உற்பத்திப் படிகள் அந்த வடிவத்தை மின்னணுச் சுற்றின் கூறுகளாக மாற்றுகின்றன. EUV ஒளியின் அலைநீளம் சுமார் 13.5 நானோமீட்டர்; இதனால் பொருத்தமான கருவிகள் மிக நுண்ணிய வடிவங்களை அச்சிட முடியும். அந்த ஒளியை உருவாக்குவது தொடக்கநிலை மட்டுமே: பொறி அதைத் துல்லியமாகச் செலுத்தி, சீரான வெளிப்பாட்டை வழங்கவும் வேண்டும்.

வெளியிடப்பட்ட விவரக்குறிப்புகள்

விரிவான விவரக்குறிப்புகள் வெளியிடப்பட்டுள்ள லாங்டாவின் குறைந்த திறன் அமைப்பு FlintNano LPP-OXXO ஆகும். FlintNano தயாரிப்புக் குடும்பம் மேம்பாடு மற்றும் வணிகமயமாக்கல் கட்டத்தில் இருப்பதாக நிறுவனம் கூறுகிறது. அதேவேளை, அதிக திறன் கொண்ட FlintMicro-LPP குடும்பத்தின் அடிப்படைக் கோட்பாடு மற்றும் சாத்தியக்கூறு ஆய்வுகள் நிறைவடைந்துள்ளன.

லாங்டாவுக்குச் சொந்தமானதாகக் கூறப்படும் விவரக்குறிப்புகள்:

  • 1,000 வாட் என மதிப்பிடப்பட்ட இயக்க லேசர்; 1 முதல் 20 கிலோஹெர்ட்ஸ் வரையிலான அதிர்வெண்களில் இயங்கும்.
  • 2 சதவீதத்துக்கும் அதிகமான மாற்றுத் திறன் மற்றும் 15 வாட்டுக்கும் அதிகமான EUV வெளியீடு.
  • தொடர்ந்து 100 மணி நேரத்துக்கும் மேலான செயல்பாடு.
  • 60 மைக்ரோமீட்டர் பிளாஸ்மா அளவு.
  • 3 சதவீத RMS-க்குள் பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை; 5 சதவீத ஆற்றல் வெளியீட்டு நிலைத்தன்மை.

வாட் என்பது திறனை, அதாவது ஆற்றல் எவ்வளவு விரைவாக வழங்கப்படுகிறது என்பதைக் குறிக்கும் அளவீடு. 1,000 வாட் லேசர் மதிப்பீடு, இயக்க லேசர் வழங்கும் திறனைக் குறிக்கிறது; EUV வெளியீட்டு மதிப்பீடு, அமைப்பு உருவாக்கும் பயனுள்ள ஒளியைக் குறிக்கிறது. இவை செயல்முறையின் வெவ்வேறு கட்டங்கள். கிலோஹெர்ட்ஸ் என்பது மீள்நிகழ்வு அதிர்வெண்ணைக் குறிக்கும்; 1 கிலோஹெர்ட்ஸ் என்றால் ஒவ்வொரு நொடியும் 1,000 சுழற்சிகள்.

RMS நிலைத்தன்மை அளவீடு, ஒரு அளவீட்டுக் காலத்தில் ஏற்படும் ஏற்ற இறக்கங்களைச் சுருக்கிக் காட்டுகிறது. சிப் தயாரிப்பாளருக்கான நடைமுறைக் கவலை, ஒவ்வொரு வெளிப்பாட்டிலும் போதுமான அளவு சீரான ஒளி கிடைக்கிறதா என்பதாகும். மாறுபாடுகள், செதில் வில்லையின் பூச்சில் மின்சுற்று வடிவம் எவ்வளவு துல்லியமாக உருவாகிறது என்பதைப் பாதிக்கலாம்.

விளம்பரம்

ஒளி எவ்வாறு உருவாக்கப்படுகிறது?

லாங்டாவ், பொதுவாக LPP எனச் சுருக்கப்படும் லேசர் மூலம் உருவாக்கப்படும் பிளாஸ்மா முறையைப் பின்பற்றுகிறது. இந்த முறையில், சக்திவாய்ந்த லேசர் மிகச் சிறிய தகரத் துளிகளைத் தாக்கி, EUV ஒளியை வெளியிடும் மிக அதிக வெப்பமுள்ள பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. அணுக்கள் தங்கள் எலக்ட்ரான்களில் சிலவற்றை இழந்த நிலையில் இருப்பதே பிளாஸ்மா எனப்படுகிறது. சேகரிப்புக் கண்ணாடி வெளிப்படும் ஒளியில் ஒரு பகுதியைத் திரட்டி, வெளிப்பாட்டு அமைப்பை நோக்கிச் செலுத்துகிறது.

ASML-இன் வணிகரீதியான EUV பொறிகளும் LPP ஒளி மூலத்தையே பயன்படுத்துகின்றன. இந்தச் செயல்முறையை மீண்டும் மீண்டும் துல்லியமாகச் செயல்படுத்துவது, போதுமான பயனுள்ள ஒளியைச் சேகரிப்பது, பிளாஸ்மாவின் விளைவுகளிலிருந்து நுட்பமான கருவிகளைப் பாதுகாப்பது ஆகியவற்றில்தான் பொறியியல் சவால் உள்ளது. சீரான தகரத் துளி ஓட்டம், சக்திவாய்ந்த இயக்க லேசர், நீடித்துழைக்கும் சேகரிப்புக் கண்ணாடி ஆகிய அனைத்தும் ஒன்றாகச் செயல்பட வேண்டும்.

லாங்டாவின் விரிவான வணிகச் செயல்பாடுகள் இந்தத் தேவைகளைப் பிரதிபலிக்கின்றன. EUV ஒளி மூலங்களுடன், அதிக திறன் கொண்ட கார்பன் டைஆக்சைடு லேசர்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா உருவகப்படுத்தல் மென்பொருள் தொடர்பான பணிகளையும் நிறுவனம் குறிப்பிடுகிறது. லேசர்கள் இயக்க வன்பொருளை வழங்குகின்றன; பிளாஸ்மா எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதைப் பொறியாளர்கள் ஆராயவும், இயக்க நிலைகளைச் சரிசெய்யவும் உருவகப்படுத்தல் மென்பொருள் உதவுகிறது.

லேசர் தூண்டிய வெளியேற்றப் பிளாஸ்மா மற்றும் முடுக்கி அடிப்படையிலான ஒளி உருவாக்கம் போன்ற மாற்று அணுகுமுறைகளும் சீனாவின் ஆய்வு முயற்சிகளில் இடம்பெறுகின்றன. அவற்றுக்கென தனித்த மேம்பாட்டுக் கால அட்டவணைகள் உள்ளன. லாங்டாவின் ஒளி மூலம் பெருமளவு உற்பத்தியை எட்ட இன்னும் மூன்று முதல் ஐந்து ஆண்டுகள் ஆகும் என்பதே அந்நிறுவனம் வெளியிட்டுள்ள மதிப்பீடு.

அதிக திறனும் நீண்ட ஆயுளும் ஏன் முக்கியம்?

வணிகரீதியான EUV அமைப்புகளுக்கு நூற்றுக்கணக்கான வாட் திறனில் ஒளியை வழங்கும் மூலங்களும், தீவிர உற்பத்தியின்போது நம்பகமாக இயங்கும் திறனும் தேவை. லாங்டா வெளியிட்டுள்ள 15 வாட்டுக்கும் அதிகமான வெளியீடு, அதன் குறைந்த திறன் அமைப்பை வேறொரு செயல்பாட்டுப் பிரிவில் வைக்கிறது. தொழிற்சாலைப் பயன்பாட்டை நோக்கி நகர்வதற்கு, கருவி நிலையாக இயங்குவதை உறுதிசெய்தபடி பயனுள்ள ஒளி வெளியீட்டை அதிகரிக்க வேண்டும்.

பயன்படுத்தக்கூடிய ஒளி அதிகரித்தால், ஒளிப்படிப்புப் பொறியால் செதில் வில்லைகளை வேகமாக வெளிப்படுத்த முடியும். இதனால் ஒரு தொழிற்சாலையில் செயலாக்கக்கூடிய செதில் வில்லைகளின் எண்ணிக்கையும், ஒவ்வொரு வெளிப்பாட்டுக்கான செலவும் பாதிக்கப்படும். நம்பகத்தன்மையும் அதே அளவு முக்கியம்: பொறியில் ஏற்படும் இடையூறு உற்பத்தியைத் தாமதப்படுத்தி, இல்லையெனில் சக்திவாய்ந்த ஒளி மூலத்தின் மதிப்பைக் குறைக்கலாம்.

சக்திவாய்ந்த பிளாஸ்மாவுக்கு அருகில் இயங்குவதால், சேகரிப்புக் கண்ணாடி ஒரு குறிப்பிட்ட சவாலாக உள்ளது. தகரத் துளிகளை உருவாக்கும் கருவியும், சரியான நேரத்தில் சரியான இடத்துக்குத் துளிகளைத் தொடர்ந்து செலுத்த வேண்டும். இச்செயல்முறைகளில் ஏதேனும் சிறிய மாற்றம் ஏற்பட்டாலும், செதில் வில்லையை அடையும் ஒளி பாதிக்கப்படலாம்.

100 மணி நேரத்துக்கும் மேலான செயல்பாடு என்ற லாங்டாவின் கூற்று, நான்கு நாட்களுக்கும் மேலான காலத்தைக் குறிக்கிறது. தொழிற்சாலை வாடிக்கையாளர்களுக்கு பராமரிப்பு இடைவெளிகள், கூறுகளை மாற்றுதல், மீண்டும் மீண்டும் இயக்கும் சுழற்சிகளில் செயல்திறன் ஆகியவை குறித்த தகவல்களும் தேவைப்படும். எஞ்சியுள்ள பொறியியல் பணிகள் வெளியீட்டுத் திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையுடன் நேரடியாகத் தொடர்புடையவை எனப் பணியாளர்கள் தெரிவித்தனர்.

விளம்பரம்

90 சதவீத உள்நாட்டுக் கூறுகள் என்பதன் பொருள் என்ன?

முன்மாதிரியின் கூறுகளில் 90 சதவீதம் உள்நாட்டிலேயே உருவாக்கப்பட்டவை என்றும், பெரும்பாலான முக்கியக் கூறுகளை நிறுவனம் தானே மேம்படுத்தியுள்ளதாகவும் பிரதிநிதிகள் தெரிவித்தனர். இறக்குமதியாகும் சில கூறுகளைப் பெறுவதில் சிரமம் இருப்பதாகவும், சில துறைகளில் சீன மாற்றுக் கூறுகளின் நிலைத்தன்மை இன்னும் போதுமான அளவை எட்டவில்லை என்றும் அவர்கள் கூறினர்.

90 சதவீதக் கணக்கீடு, கூறுகளின் எண்ணிக்கை, மதிப்பு அல்லது வேறு முறையின் அடிப்படையில் செய்யப்பட்டதா என்பதை லாங்டாவ் குறிப்பிடவில்லை. மாற்றுவது இன்னும் கடினமாக உள்ள கூறுகள் எவை, அவை முழு அமைப்பின் நம்பகத்தன்மையை எவ்வாறு பாதிக்கின்றன என்பதே வாசகர்களுக்கு முக்கியமான கேள்வி. கூறுகளில் சிறிய பங்காக இருந்தாலும், தொடர்ந்து இயங்குவதற்கு அத்தியாவசியமான கருவிகள் அதில் இடம்பெற்றிருக்கலாம்.

இறக்குமதி செய்யப்படும் எஞ்சிய கூறுகள் எவை என்பதைப் பணியாளர்கள் தெரிவிக்க மறுத்தனர். அவர்களின் விளக்கம், பொறியியல் சவால் ஒரு நிறுவனத்தின் ஒருங்கிணைப்புப் பணியில் மட்டும் இல்லாமல், வழங்குநர்களின் வலையமைப்பு முழுவதும் பரவியிருப்பதைச் சுட்டியது. மேம்பட்ட உள்நாட்டுக் கூறுகள் சீரான தரத்துடனும் நம்பகமான செயல்பாட்டு ஆயுளுடனும் கிடைக்க வேண்டும்.

சீன செதில் வில்லைத் தொழிற்சாலைகளுக்கு, முழுமையாக வளர்ச்சியடைந்த உள்ளூர் ஒளி மூலம் கிடைத்தால், கருவிகள் மற்றும் மாற்றுப் பாகங்கள் மீதான கட்டுப்பாடுகளால் ஏற்படும் பாதிப்பைக் காலப்போக்கில் குறைக்கலாம். உள்நாட்டு வடிவமைப்புகளை நீண்ட காலம் கணிக்கக்கூடிய வகையில் ஒன்றிணைந்து இயங்கும் கூறுகளாக மாற்றுவதே தற்போதைய பணியாகும்.

சிப் தொழில் முதலீட்டாளர்களின் ஆதரவு பெற்ற ஸ்டார்ட்அப்

லாங்டாவ் 2024ஆம் ஆண்டு நிறுவப்பட்டது. நிறுவனர் வாங் ஹாவோவும் அவரது குழுவினரும் சிங்குவா பல்கலைக்கழகத்தின் வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் பிளாஸ்மா ஆய்வகத்தின் ஆராய்ச்சியை அடிப்படையாகக் கொண்டு, EUV ஒளிப்படிப்புக்கான LPP தொழில்நுட்பத்தில் கவனம் செலுத்துகின்றனர்.

நிறுவனத்தின் மேம்பாட்டுப் பயணத்தில் பல நிதிச் சுற்றுகள் இடம்பெற்றுள்ளன. நிதி வழங்கியதாகக் குறிப்பிடப்படும் முதலீட்டாளர்களில் வோயான் கேபிடல் மற்றும் சீனாவின் முன்னணி ஒப்பந்த சிப் தயாரிப்பாளரான செமிகண்டக்டர் மானுஃபேக்சரிங் இன்டர்நேஷனல் கார்ப்பரேஷனுடன் தொடர்புடைய சைனா ஃபார்ச்சூன்-டெக் கேபிடல் ஆகியவை அடங்கும். இத்தகைய ஆதரவு, குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் உற்பத்தி குறித்து அனுபவமுள்ள முதலீட்டாளர்களுடன் ஸ்டார்ட்அப்பை இணைக்கிறது.

நிறுவனம் தொடங்கப்பட்டது முதல் நிதி திரட்டலும் பொதுக் காட்சிப்படுத்தலும் வரை நடந்ததாகக் கூறப்படும் தொடர் வரிசை:

  • 2024: லாங்டாவ் நிறுவப்பட்டு, EUV ஒளி மூலத் திட்டம் தொடங்கப்பட்டது.
  • அக்டோபர் 2025: ஜாங்ஜியாங் ஹை-டெக்குடன் தொடர்புடைய சுய்யூ வென்ச்சர்ஸ், தொடக்கநிலை முதலீடு வழங்கியது.
  • ஜனவரி 2026: நிறுவனம் கூடுதல் தொடக்கநிலை நிதிச் சுற்றை நிறைவு செய்தது.
  • ஜூலை 2026: லாங்டாவ் தொடர் A நிதிச் சுற்றை நிறைவு செய்தது.
  • அக்டோபர் 2026: ஷாங்காய் தொழில் கண்காட்சியில் ஒளி மூல முன்மாதிரி பொதுமக்கள் பார்வைக்கு வைக்கப்பட்டது.

நிதி திரட்டல், கருவிகள் வாங்கவும், பணியாளர்களைச் சேர்க்கவும், மேம்பாட்டைத் தொடரவும் நிறுவனத்துக்குத் தேவையான வளங்களை வழங்குகிறது. பொதுக் காட்சிக்குப் பிறகும் பொறியியல் பணிகளுக்கு இன்னும் பல ஆண்டுகள் தேவைப்படும் என லாங்டாவின் சொந்த கால அட்டவணை தெரிவிக்கிறது. இது ஒரு முன்மாதிரிக்கு நிதி வழங்குவதற்கும், மீண்டும் மீண்டும் தயாரிக்கக்கூடிய தொழில்துறைப் பொருளை வழங்குவதற்கும் இடையிலான தூரத்தைக் காட்டுகிறது.

விளம்பரம்

ஏற்றுமதிக் கட்டுப்பாடுகள் உள்நாட்டு மேம்பாட்டுக்கான அழுத்தத்தைத் தொடர்கின்றன

முழுமையான EUV ஒளிப்படிப்புப் பொறிகளின் ஒரே வணிகரீதியான விநியோகஸ்தர் ASML ஆகும். கட்டுப்பாடுகள் காரணமாக அந்தப் பொறிகளை சீனாவுக்கு விற்க முடியாது; இதனால் சீன உற்பத்தியாளர்களுக்கு உள்நாட்டு மாற்று ஒன்றை உருவாக்குவது உத்திசார் முன்னுரிமையாகியுள்ளது. இன்றைய கருவிகளுக்குப் பின்னால் உள்ள நீண்டகாலத் தொழில்துறை மேம்பாட்டின் ஒரு பகுதியாக, 2013ஆம் ஆண்டு சைமர் நிறுவனத்தை வாங்கியதன் மூலம் ASML தனது ஒளி மூலத் திறன்களை வலுப்படுத்தியது.

சீன சிப் தயாரிப்பாளர்கள் தொடர்ந்து ஆழ் புற ஊதா (DUV) கருவிகளைப் பயன்படுத்தி உற்பத்தி செய்து வருகின்றனர். DUV, EUV-ஐ விட நீண்ட அலைநீளத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. பல வடிவாக்க முறையில், சிக்கலான மின்சுற்று வடிவத்தைப் பல செயலாக்கப் படிகளாகப் பிரித்து, அந்தக் கருவிகளால் தயாரிக்கக்கூடியவற்றின் வரம்பை உற்பத்தியாளர்கள் விரிவுபடுத்தலாம். கூடுதல் படிகள் உற்பத்தியின் சிக்கலையும் செலவையும் அதிகரிக்கின்றன.

ASML தலைமைச் செயல் அதிகாரி கிறிஸ்டோஃப் ஃபூகே, சீனா நிறுவனத்தின் தொழில்நுட்பத்தை எவ்வளவு விரைவாக எட்ட முடியும் என்பதில் சந்தேகம் தெரிவித்துள்ளார். முதலீட்டாளர் அழைப்பின்போது பேசிய அவர், சீனா கடக்க வேண்டிய தூரத்தை இவ்வாறு விவரித்தார்:

கடக்க வேண்டிய தூரம் மிக மிக நீண்டது

லாங்டாவின் மூன்று முதல் ஐந்து ஆண்டு மதிப்பீடு, அதன் சொந்தத் திட்டத்துக்கான கூடுதல் குறிப்பிட்ட கால அளவை வழங்குகிறது. 2026 அக்டோபரில் காட்சிப்படுத்தப்பட்டதாகக் கூறப்படும் காலத்திலிருந்து கணக்கிட்டால், மேம்பாடு எதிர்பார்த்தபடி தொடர்ந்தால் சுமார் 2029 முதல் 2031 வரையிலான காலத்தைக் குறிக்கிறது. இது ஒளி மூலத்துக்கான கால அட்டவணை மட்டுமே. முழுமையான ஒளிப்படிப்புப் பொறிக்கு, அதன் மற்ற முக்கிய அமைப்புகளும் இணக்கமான செயல்திறன் நிலையை எட்ட வேண்டும்.

பிற துறைகளின் முன்னேற்றம் EUV-யின் இடத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது

சீன வழங்குநர்கள் ஒளிப்படிப்பு அல்லாத உற்பத்திக் கட்டங்களிலும் விரிவடைந்து வருகின்றனர். அதே காலகட்டத்தில் ஷென்ழெனில் நடைபெற்ற குறைக்கடத்தி கண்காட்சியில், ஹுவாட்சிங் அயனி பதிப்பு இயந்திரத்தைக் காட்சிப்படுத்தியது; லீட்மைক্রோ மெல்லிய படலங்களைப் படியவைக்கும் கருவியைக் காட்டியது; பையோடெக், நினைவக மற்றும் லாஜிக் சிப்புகளுக்கான கார்பன் படலப் படிவுத் தொழில்நுட்பத்தை அறிவித்தது.

ஒரு செதில் வில்லைத் தொழிற்சாலைக்கு பலவகை உபகரணங்கள் தேவைப்படுவதால், இந்த முன்னேற்றங்கள் முக்கியமானவை. அயனி பதிப்பு, சிலிக்கானின் குறிப்பிட்ட பகுதிகளின் மின்பண்புகளை மாற்றுகிறது. படிவாக்கம் பொருளின் மெல்லிய அடுக்குகளைச் சேர்க்கிறது. ஒளிப்படிப்பு, அடுத்தடுத்த பணிகளுக்கு வழிகாட்டும் வடிவங்களை வரையறுக்கிறது. EUV மேம்பாடு தொடர்ந்தாலும், இக்கட்டங்கள் முழுவதும் ஏற்படும் முன்னேற்றம் உள்நாட்டு உபகரணங்களின் பயன்பாட்டை அதிகரிக்கலாம்.

சீனாவின் செதில் வில்லை உற்பத்தி உபகரணச் சந்தையில் உள்நாட்டு வழங்குநர்கள் 2028ஆம் ஆண்டுக்குள் 52 சதவீதப் பங்கைப் பெறுவார்கள் என பெர்ன்ஸ்டீன் ரிசர்ச் கணித்துள்ளது; 2026ஆம் ஆண்டுக்கான மதிப்பீடு 28 சதவீதம். இது 24 சதவீதப் புள்ளிகள் உயர்வைக் குறிக்கிறது. இந்தக் கணிப்பு, EUV ஒளிப்படிப்பை விடப் பரந்த உபகரணச் சந்தையை உள்ளடக்கியது.

லாங்டாவின் அடுத்த முக்கிய முன்னேற்றங்கள், அது அறிவித்துள்ள பொறியியல் காலகட்டத்தில் முன்னேறும்போது அதிக வெளியீடு, நீடித்த நம்பகத்தன்மை மற்றும் வெளிப்பாட்டுச் செயல்திறன் ஆகியவற்றைச் சார்ந்திருக்கும். கண்காட்சி தொடர்பான விளம்பரம் நிதி திரட்டலையும் தேசப்பற்றைத் தூண்டும் ஆர்வத்தையும் நோக்கமாகக் கொண்டதா என்றும் சீன இணையப் பயனர்கள் கேள்வி எழுப்பியுள்ளனர். விரிவான செயல்பாட்டு முடிவுகளை வெளியிடுவது, தயாரிப்பின் முன்னேற்றம் குறித்து வருங்கால வாடிக்கையாளர்களுக்கும் முதலீட்டாளர்களுக்கும் தெளிவான தகவலை வழங்கும்.

விளம்பரம்

முக்கிய அம்சங்கள்

  • லாங்டாவ் சுயியான், ஷாங்காயில் EUV ஒளி மூல முன்மாதிரியைக் காட்சிப்படுத்தியது; அதன் கூறுகளில் 90 சதவீதம் உள்நாட்டில் தயாரிக்கப்பட்டவை என நிறுவனப் பணியாளர்கள் தெரிவித்தனர்.
  • இந்தக் கண்காட்சி, முழுமையான EUV ஒளிப்படிப்புப் பொறிக்குத் தேவையான பல முக்கிய அமைப்புகளில் ஒன்றான ஒளி மூலத்தைப் பற்றியது.
  • வெளியிடப்பட்ட FlintNano விவரக்குறிப்புகளில் 15 வாட்டுக்கும் அதிகமான EUV வெளியீடும் 100 மணி நேரத்துக்கும் மேலான செயல்பாடும் இடம்பெறுகின்றன.
  • பெருமளவு உற்பத்திக்கு இன்னும் மூன்று முதல் ஐந்து ஆண்டுகள் ஆகும் எனப் பணியாளர்கள் மதிப்பிட்டனர்; திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையே முக்கியப் பொறியியல் பணிகள்.
  • இந்நிறுவனம் 2024ஆம் ஆண்டு நிறுவப்பட்டது; சீனக் குறைக்கடத்தித் துறையுடன் தொடர்புடைய முதலீட்டாளர்களிடமிருந்து ஆதரவு பெற்றுள்ளது.
  • ASML-இன் EUV பொறிகள் மீதான ஏற்றுமதிக் கட்டுப்பாடுகள், உள்நாட்டு உபகரணங்களை உருவாக்குவதற்கான சீன முயற்சிகளைத் தொடர்ந்து ஊக்குவிக்கின்றன.
இந்தக் கட்டுரையைப் பகிர்

இவற்றையும் விரும்பலாம்